Описание
STACIS® 4 — самая передовая из существующих активных систем виброизоляции. Используя инерционные датчики вибрации, сложные алгоритмы управления и современные пьезоэлектрические приводы, STACIS устраняет вибрацию в режиме реального времени, непрерывно измеряя активность пола, а затем расширяя и сжимая пьезоэлектрические приводы, чтобы отфильтровать движение пола. Новая модель STACIS 4 основана на успехе нашей проверенной технологии STACIS, которая используется 9 из 10 крупнейших производителей полупроводников в мире.
Изначально разработанная для изоляции прецизионного микролитографического, метрологического и инспекционного оборудования на передовых полупроводниковых заводах, STACIS сегодня является стандартным решением для самых чувствительных приборов в шумной среде, включая, в частности, такие приложения, как анализ отказов, нанотехнологические исследования, нанофабрикация, структурная биология и исследования материалов.
STACIS 4 включает в себя новый усовершенствованный цифровой контроллер DC-2020 с двухъядерным процессором и пониженным уровнем шума. Эта новая усовершенствованная система управления предоставляет пользователю простой в использовании графический интерфейс пользователя (GUI).
STACIS 4 опирается на передовую архитектуру предыдущих поколений, добавляя усовершенствованные алгоритмы управления и новые запатентованные технологии. Результатом стало недостижимое ранее подавление вибрации пола здания на всех частотах, но особенно ниже 10 Гц, где наиболее чувствительны визуализация и метрология высокого разрешения. В сочетании с запатентованной технологией FloorSense™ система STACIS 4 снижает вибрацию пола здания на 60 дБ при частоте 2 Гц и на 27 дБ при частоте 1 Гц. Полные технические характеристики STACIS 4 приведены ниже.
