Description
Полупроводники, FPD и производственные процессы, особенно системы CVD.
Привод
Ультра быстрый привод (госпожа 90)
Регулятор с конфигурируемыми параметрами PI
Интерфейс RS232 с 2 аналогового выхода
Интерфейс локальных сетей
Интерфейс DeviceNet
Интерфейс логики
Интерфейс Profibus
Интерфейс RS-485
Интерфейс CC-связи
Интерфейс EtherCAT
Электропитание датчика SPS = DC ± 15V на отказе источника питания)
PFO = вариант отказа источника питания (клапан закрывает или раскрывает автоматически
Клапан
Диаметр номинальный: DN 40/50 с ISO-KF DN 63/80/100 с ISO-F
Другие фланцы (JIS, ASA-LP, CF-f)
Клиент определил фланцы
Алюминиевый трудный анодировать или никел-покрытый
Другие герметизируя материалы
Подогреватель с изоляцией для температур 80°C клапана, 100°C, 120°C
