Описание
Это устройство используется для подготовки нужной части пластины к анализу с помощью STEM, TEM и т.д. путем извлечения микрообразца ионным пучком в вакуумной камере системы FIB.
Устройство для отбора микрообразцов FIB и метод отбора микрообразцов FIB
Пример отбора микрообразцов с помощью FIB
Микрообразцы, включающие точку анализа, непосредственно вырезаются из полупроводникового прибора. Микрообразцы вырезаются или обрезаются в различной форме путем изменения направления падающего FIB-направления.
Новая разработанная система оценки полупроводниковых приборов состоит из системы FB2200 FIB и HD-2700 200 kV STEM. Система выполняет все операции от поиска дефектных точек до анализа структуры в суб-нанометровом масштабе в течение нескольких часов.
