Описание
Эта недорогая вертикальная печь, оснащенная автоматическим конвейером, может использоваться для выполнения целого ряда функций — от НИОКР до массового производства 4- 8-дюймовых пластин. Мы добились такой низкой цены, что эту печь могут внедрить конечные пользователи. Доступна сверхвысокотемпературная обработка, которая лучше всего подходит для производства силовых устройств.
Характеристики
Недорогое оборудование для конечных пользователей
Возможность обработки мини-партий, от 50 до 75 пластин, от научно-исследовательской до серийной линии
доступен размер пластин от 4 до 8 дюймов
Максимум 4 запаса кассет
Отличный контроль температуры от низкого до средне-высокого диапазона с помощью нагревателя LGO
Высокоскоростная передача пластин с помощью одного робота для перемещения пластин
Оснащен простой системой управления с ограниченной функциональностью
Эта печь может использоваться для широкого диапазона размеров пластин от 4-дюймовых до 8-дюймовых, и можно выбрать обработку 50-75 пластин мини-партий. Благодаря тому, что аппаратное обеспечение и содержание системы управления тщательно подобраны для достижения низкой цены, эта вертикальная печь может использоваться для широкого спектра функций от научно-исследовательских работ до линий массового производства. Выберите и используйте подходящий нагреватель из нагревателя LGO, нагревателя дисилицида молибдена (MoSi2) и углеродного нагревателя не только для низкотемпературного отжига, нитрида (Si3N4), поликремния (poly Si) и других материалов LPCVD, окисления и диффузии, но и для оксинитрирования кремния затвора силовых устройств SiC, активационного отжига и других процессов сверхвысокотемпературной обработки.
