Описание
APA 302 — это уникальный инструмент поточного мониторинга для передового производства стружки в условиях чистого помещения. Это инновационное оборудование измеряет молекулярное загрязнение воздуха (сокращенно AMC) в FOUP и в окружающей среде. Измерение происходит в режиме реального времени с высокой чувствительностью в ppbv-диапазоне.
Эффективный мониторинг загрязнения
Влага и воздушно-молекулярные загрязнения (AMC), такие как фтористый водород (HF), высвобождаются в пространстве FOUPs во время очереди. Эти элементы могут вызывать рост кристаллов на узорчатых пластинах, что приводит к потере урожая и снижению производительности.
APA 302 фирмы Pfeiffer Vacuum отбирает пробы у AMC через фильтры FOUP. Измерение происходит в 2 мг с высокой чувствительностью в ppb-диапазоне с помощью ионно-мобильной спектроскопии, пламенно-ионизационной детекции, флуоресцентной УФ-спектроскопии или кольцевой спектроскопии полости. При отсутствии FOUP на загрузочных портах APA 302 осуществляет мониторинг окружающей среды в чистых помещениях.
Надежный анализ среды FOUP
Для гарантии производительности SEMI S2/S8, совместимый со стандартом APA 302, оснащен функцией автоматической калибровки, которая активируется через регулярные промежутки времени. Мониторинг AMC внутри APA может выполняться в POD с подложками или без них. FOUP могут быть доставлены как вручную, так и через верхний подъемный механизм (OHT) на 2-х грузовых портах. Таким образом, время очереди между отдельными этапами процесса может быть оптимизировано, повышенные значения загрязнения сразу же распознаются, а урожайность увеличивается.
