Описание
Компактный прибор для контроля толщины пленки представляет собой спектрофотометрический измеритель толщины пленки с отражением, использующий небольшой отражающий зонд и применимый во всех ситуациях — от лабораторного уровня до поточного 100% контроля в производственном процессе. Он обладает отличной ремонтопригодностью и может быть использован для встраивания в технологическое оборудование и управления линией.
Возможно одновременное измерение до 9 типов прозрачных пленок.
Он может использоваться в качестве поточного или конечного контроля для различных многослойных пленочных процессов.
Компактный зонд может быть установлен в небольшом пространстве внутри технологического инструмента. Также возможно определить соотношение смеси в смешанном слое или кристалличность поликремния с помощью теории EMA.
