Описание
Система выравнивания связующих элементов EVG610 предназначена для выравнивания связующих элементов между пластинами размером до 150 мм. Системы выравнивания склеивания EV Group предлагают ручную высокоточную ступень выравнивания с помощью микроскопа снизу вверх. Точность системы центровки склеивания EVG позволяет использовать самые сложные процессы выравнивания в производстве MEMS и в новых областях, таких как приложения для 3D-интеграции.
Особенности
Наиболее подходит для систем склеивания EVG®501 и EVG®510
Размеры пластин и подложек до 150 / 200 мм
Ручной высокоточный этап выравнивания вручную
Ручной нижнесторонний микроскоп с ручным управлением
Пользовательский интерфейс на базе Windows®
Идеальная многопользовательская концепция (неограниченное количество учетных записей пользователей, различные права доступа, различные языки пользовательского интерфейса)
Конструкция настольной системы с минимальной площадью основания
Поддержка процесса выравнивания ИК-излучения
Оптимальная совокупная стоимость владения (ТШО) для НИОКР и опытно-промышленного производства линии
Технические данные
Общая конфигурация системы
Рабочий стол
Системная стойка: опционально
Виброизоляция: пассивная виброизоляция
Методы выравнивания
Выравнивание по тыльной стороне: ± 2 мкм 3 σ
Прозрачное выравнивание: ± 1 мкм 3 σ
Выравнивание иК: опция
Стадия выравнивания
Точные микрометры: ручные
Опционально: моторизованные микрометры
Компенсация клиньев: автоматическая компенсация клиньев
