Description
Настольный щуповой профилометр Tencor P-7 основан на успехе лидирующей на рынке настольной системы щупового профилирования Tencor P-17. Он включает в себя превосходные измерительные характеристики технологии P-17 в платформе, которая предлагает отличное соотношение цены и возможностей для настольного профилометра со щупом. Профилометр Tencor P-7 поддерживает 2D и 3D измерения высоты ступеней, шероховатости, изгиба и напряжения при сканировании до 150 мм без сшивки.
— Высота шага: Нанометры до 1000 мкм
— Низкое усилие с постоянным контролем усилия: от 0,03 до 50 мг
— Сканирование всего диаметра образца без сшивания
— Видео: 5 Мп цветная камера высокого разрешения
— Коррекция дуги: Устраняет ошибку, связанную с дуговым движением щупа
— Программное обеспечение: Простой в использовании интерфейс программного обеспечения
— Производственные возможности: Полная автоматизация с секвенированием, распознаванием образов и SECS/GEM
Приложения
— Высота шага: 2D и 3D высота шага
— Текстура: 2D и 3D шероховатость и волнистость
— Форма: 2D и 3D изгиб и форма
— Напряжение: 2D и 3D напряжение в тонкой пленке
— Обзор дефектов: 2D и 3D топография поверхности дефекта
