Description
Высокоточное бесконтактное измерение перемещений
Для высокоточного измерения перемещений SmarAct предлагает интерферометр PICOSCALE.
— 3 параллельных лазерных интерферометра в одном приборе для 3D измерений
— Полоса пропускания измерений до 2,5 МГц (частота дискретизации 10 МГц) с разрешением до 1 пм1
— Измерения возможны на большинстве материалов (пластик, стекло, металл и даже вода)
— Широкий выбор головок датчиков для различных применений и сред (включая вакуум и криогенную среду)
— Возможность расширения до полного лабораторного измерительного и контрольного прибора с помощью дополнительных модулей
— Проверенная производительность с сотнями довольных клиентов
1 При анализе периодических смещений в частотной области
Примеры применения
Оптические измерения смещения с высоким разрешением пьезосканера
Точное позиционирование образцов представляет первостепенный интерес в различных областях применения. Хотя системы позиционирования с пьезотехнологией «палка-скольжение» предлагают универсальные возможности, в некоторых приложениях поведение скольжения нежелательно. В этом случае пьезосканеры демонстрируют весь свой
потенциал, поскольку они могут очень точно позиционировать образец в диапазоне нескольких микрометров. В этом приложении проверяются этапы работы пьезосканера. В режиме замкнутого цикла, используя оптический энкодер в качестве датчика, используется интерферометр PICOSCALE для выявления однонанометровых шагов.
Измерения прямолинейности трансляторов DeepL
Измерение прямолинейности ступеней трансляции DeepL является одним из типичных применений интерферометра PICOSCALE.
