Описание
В то время как полупроводниковая промышленность стремительно движется к новому витку развития, ВЧ-генератор eVerest™ восполняет потребность в трансформационном управлении плазмой. Его настраиваемый многоуровневый импульс обеспечивает мгновенное или задаваемое пользователем время перехода. Кроме того, высокоскоростная и высокоточная настройка частоты на основе модели с широким диапазоном развертки частоты обеспечивает большую стабильность процесса и контроль. Эти возможности, а также более быстрый отклик на заданное значение, контролируемый перерасход в начале пульсирующего состояния и усовершенствованный IoT-интеллект PowerInsight by Advanced Energy™ позволяют внедрять инновации в технологические процессы для следующего технологического узла.
— Полная система доставки радиочастотного сигнала, множество вариантов решений для согласования и интеллектуальная синхронизация
— Скорость и контроль в рамках программируемых многоуровневых профилей импульсов
— Высокоскоростной выходной РЧ-отклик и время нарастания/спада импульсного состояния
— Диапазон перестройки частоты до ±10%
— Разработанная стабильность dP/dZ
— Экосистема PowerInsight by Advanced Energy™ IoT
— Позволяет разрабатывать новые технологические процессы для профилей осаждения и травления < 2 нм
— Обеспечивает надежное зажигание с ВЧ-стабильностью, не зависящей от длины кабеля
— Легко интегрируется в любую плазменную систему
— Увеличивает технологическое пространство и расширяет окно стабильности
— Поддержка продуктов и приложений по всему миру в местных сервисных центрах
