Description
Pi411 Сверхгибкое устройство
Благодаря модульной конструкции и широкому спектру доступных технологий, Pi411 PLUS является самым гибким устройством для нанесения покрытий в мире.
Конфигурации
ECO: базовая конфигурация с 3 x LARC® (LAteral Rotating Cathode) внутри двери для осаждения ARC
PECVD (DLC2): Для покрытий a-C:H:Si
TURBO: ECO + CERC® (центральный вращающийся катод) с технологией ARC для повышения производительности и обеспечения возможности нанесения высокосложных покрытий
ОКСИ: Для оксидных покрытий в корундовой структуре
SCIL® (SPUTTERED Coating Induced by Lateral Glow Discharge): Высокоэффективное осаждение из центрального катода, например, для покрытий ta-C
Гибридный LACS®: Одновременные процессы ARC и SPUTTER с LARC® внутри двери и центральным катодом SCIL®
Применены технологии травления:
LGD® (Lateral Glow Discharge — боковое свечение)
Плазменное травление аргоном, светящиеся выделения
Ионное травление металлов (Ti, Cr)
Загрузка и время цикла:
Макс. объем покрытия: ø 540 x H 500 [мм]
Макс. высота покрытия при определенной толщине покрытия: 414 мм
Макс. нагрузка: 200 кг
До 5 партий в день для*:
Инструменты с хвостовиком (2 мкм): — — ø 10 x 70 [мм], — 504 шт., — 4,5 ч
Вставки (3 мкм): — — — ø/□ 20/14 х 6 [мм], — 2940 шт., 5,5 ч
Варочные панели (4 мкм): — — — — ø 80 x 180 [мм], — 28 шт., — 7,0 ч
* Среднее время цикла для типичной смеси покрытий в производственной среде.
Модульные карусельные системы:от 1 до 14 осей
Программное обеспечение:
Простота использования и обслуживания
Программное обеспечение SmartSoftware компании PLATIT (ПК и система ПЛК)
Современная система управления с сенсорным экраном
Запись данных и отображение в реальном времени параметров процесса и расхода
Ручное и автоматическое управление процессом
Дистанционная диагностика и обслуживание
Размеры машины:
След: Ш 2950 x Г 1900 x В 2400 [мм]
