Описание
20B-5P-4D самая последняя спецификация для двойной бортовой полировать вафель 300mm или 200mm. С un-paralleled стабилностью эта система mass-produces 15 по каждому вафель 200mm в серию, и 5 по каждому вафель 300mm в серию. Это идеально система для высокой плоскостности, низкой автоматизации Nanotopography, обслуживания и цены владения. 20B05P-4D соотвествует самые строгие для точности и roll-off.
