Описание
TBS — это высокоточная линейная ось с 1 степенью свободы. Это линейная ось с непрямым приводом на основе механических подшипников, обеспечивающая выдающиеся характеристики точности и прецизионности в своей категории. Ось управляется высокопроизводительным серводвигателем с низким коэффициентом затухания и использует схему управления с обратной связью по двойному энкодеру, которая, обеспечивая превосходные характеристики, упрощает ввод в эксплуатацию. В дополнение к передовому непрямому управлению, в основе которого лежат энкодерные технологии HEIDENHAIN Group, ось имеет непревзойденные механические характеристики по всему ходу, характеризующиеся макро- и микроперемещениями.
Эта ось также включает в себя специфические конструктивные характеристики и опции, такие как тепловая развязка источников тепла, высокая жесткость и микрометрический жесткий упор, что делает ее особенно интересной для применений, требующих стабильности и безопасности процесса
Ориентированная на облегчение применения в полупроводниковой промышленности, ось по-прежнему отвечает всем разнообразным рынкам и потребностям, требующим решений для высокой точности, высокой чистоты, высокой стабильности и высокой точности.
Характеристики
— Общий ход: 50 мм
— Максимальная грузоподъемность: 45 кг
— Непрямой привод — высокоточный ШВП
— Двойная обратная связь с энкодером
— Совместимость с чистыми помещениями: ISO2 (ISO1 опционально)
— Доступны такие опции, как микрометрический жесткий упор.
Основные технические характеристики
— Двунаправленная повторяемость: ± 0,3 мкм
— Прямолинейность микродвижения ± 50 нм
— Стабильность положения: ± 10 нм
— Скорость до 0,03 м/с
— Ускорение до 0,5 g
