Description
WVASE® — самая мощная и всеобъемлющая программа эллипсометрического анализа. Она предоставляет больше возможностей для моделирования, чем любая другая программа. WVASE также является быстрой. В ней используются самые современные алгоритмы математической подгонки для наиболее быстрого и точного подбора данных. В дополнение к моделированию и анализу эллипсометрических данных, WVASE также анализирует и/или моделирует данные отражения и пропускания (данные отражения нейтронов, также для анализа очень тонких пленок, таких как органика). WVASE входит в состав систем VASE, IR-VASE и VUV-VASE.
Создавайте свои собственные осцилляторы, начиная с ряда встроенных функций, включая:
— Лоренц
— гауссова
— гармонический
— Друде
— Таук-Лоренца
— Коди-Лоренц
— Танги
— ПСЭМИ
Метаматериалы представляют собой искусственно созданные массивы небольших структур, обычно меньших, чем длина волны измерения. Эти структуры обладают свойствами, приспособленными для взаимодействия с приходящими электромагнитными волнами таким образом, который обычно не наблюдается в природных материалах. Для полного моделирования структур метаматериалов может потребоваться до четырех относительных конститутивных функций (ε, μ, γ и ζ). Более того, они могут быть анизотропными, что требует 3X3 тензоров для каждой функции, как показано ниже:
Эти уравнения воплощены в слое Meta-6, как показано ниже, с различными слоями Gen-Osc, описывающими различные анизотропные диэлектрические тензоры. Метаматериалы обычно анизотропны и часто деполяризуются, это означает, что они обычно требуют либо обобщенных измерений эллипсометрии (g-SE), либо даже эллипсометрии матрицы Мюллера (MM-SE).
