Поставки оборудования по России

Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XY 2 оси

Description

Система VULCANO XY представляет собой трехступенчатую конструкцию, позволяющую получить компактное и экономичное решение в сочетании с механическими подшипниками и высокотехнологичными оптическими энкодерами.

Основание нижней оси (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей с железным сердечником, управляемых в режиме портала, при использовании с контроллерами AccurET, что обеспечивает лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с железным сердечником. Использование технологии железосодержащих сердечников обеспечивает высокую плотность усилия, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на относительно низком уровне.

Опорная плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижней оси (Y1 и Y2), изготовлена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение осуществляется с помощью изгибающих элементов.

Характеристики
— Компактность
— Стабильность положения нанометра
— Короткие сроки переезда и урегулирования
— Высокая динамика
— Высокая двунаправленная повторяемость
— Высокая стабильность положения
— Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1

Additional information

Модель

VULCANO XY

Бренд

ETEL S.A.